Tricine의 응용 |CAS:5704-04-1|반도체 웨이퍼 분야

Tricine의 응용 |CAS:5704-04-1|반도체 웨이퍼 분야

2022-08-11

Tricine ( CAS: 5704-04-1 ) 은 우수한 양쪽성 상품의 완충제입니다. CN106085245B 특허는 화학적 기계적 연마(CMP)를 도입합니다.

구리의 준비 및 주요 구성 요소는 다음과 같습니다.

미립자 물질 ( 0.001-0..25% ) : 흄드 실리카, 콜로이드 실리카, 흄드 알루미나, 콜로이드 알루미나, 세리아, 티타니아, 지르코니아, 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트 에스테르, 운모, 수화된 알루미늄 실리케이트 및 이들의 혼합물에서 선택되는 미립자 물질 .

2 개 이상의 아미노산 ( 0.01-16% ) : 글리신, 세린, 라이신, 글루타민, L-알라닌, DL-알라닌, 베타-알라닌, 이미노아세트산, 아스파라긴, 아스파르트산, 발린, 사르코신, N-비스(히드록시에틸) 글리신, 트리신 , 프롤린 및 이들의 혼합물 .

삼.

산화제 ( 0.25-5 % ) : 산화제는 과산화수소, 중크롬산암모늄, 과염소산암모늄, 과황산암모늄, 과산화벤조일, 브롬산염, 차아염소산칼슘, 황산세륨, 염소산 염, 삼산화크롬, 삼산화철, 염화제이철 중에서 선택됩니다. , 요오드산염, 요오드, 과염소산마그네슘, 이산화마그네슘, 질산염, 과요오드산, 과망간산, 중크롬산칼륨, 페리시안화칼륨, 과망간산칼륨, 과황산칼륨, 비스무트나트륨, 아염소산나트륨, 중크롬산나트륨, 아질산나트륨, 과붕산나트륨, 황산염, 과아세트산 , 요소-과산화수소, 과염소산, 2급 부틸 과산화물, 모노과황산염, 이과황산염, 및 이들의 조합 .

부식 억제제(0.00001-2%): 부식 억제제는 질소 함유 고리형 화합물로부터 선택되고, 질소 함유 고리형 화합물은 1,2,3-트리아졸, 1,2,4-트리아졸, 5-메틸벤조트리아졸, 벤조트리아졸, 1-히드록시벤조트리아졸, 4-히드록시벤조트리아졸로부터 선택된다. 히드록시벤조트리아졸, 4-아미노-4H-1,2,4-트리아졸, 벤즈이미다졸, 5-아미노트리아졸, 벤조티아졸, 트리아진티올, 트리아진 디티올 및 트리아진 트리티올, 이소시아누레이트 및 이들의 조합.

참고문헌

CN106085245B

낮은 디싱 구리 화학 기계 연마.

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