제품명 : 파릴렌C

CAS : 10366-05-9

분자식 : C ₁₆ H ₁₄ Cl ₂

품목번호 : E0016

구조식 :

 

제품소개

파릴렌C는 주로 마이크로일렉트로닉스, 반도체 등의 고순도 패시베이션층과 유전층으로 사용된다. 또한 마이크로 전자공학의 패시베이션, 보호, 윤활 및 기타 코팅으로도 사용할 수 있습니다. 또한, 생물의학적 부식방지 및 문화재 보호 등의 절연, 고화, 보강재로도 활용이 가능합니다.

파릴렌C의 응용

전기습윤 렌즈는 주로 매체에 대한 전기습윤 효과의 원리를 사용하여 인가 전압을 변경하여 매체 표면의 액체의 습윤 특성을 제어함으로써 인간 렌즈와 동일한 줌 기능을 달성합니다. 전통적인 기계식 렌즈와 비교하여 전기습윤 렌즈는 간단한 구조, 가벼운 무게, 저렴한 비용, 빠른 줌 및 우수한 이미징 효과와 같은 장점을 가지고 있습니다. 이는 휴대폰, 카메라, 스캐너 및 기타 분야에 적용할 수 있는 큰 잠재력을 가지고 있습니다. 그러나 기존 전기습윤렌즈는 유전체층의 물질적 특성과 구조적 한계로 인해 유전체 불량 등의 문제가 발생하기 쉽다. 이로 인해 일반적으로 전기습윤 렌즈의 수명이 짧아져 다양한 광학 시스템에서 안정성과 내구성이 제한됩니다. 따라서 전기습윤 렌즈의 수명을 어떻게 연장할 것인가는 해결해야 할 기술적 문제이다. 기존의 기술적인 문제를 고려하여 CN117389027A 특허는 전기습윤에 사용하기 위한 유전층과 전기습윤 렌즈를 제공한다. 전기습윤 렌즈의 유전층은 무기 유전성 박막과 유기 유전성 박막을 포함하며;

무기유전체박막은 티탄산스트론튬바륨박막, 이산화규소박막, 알루미나박막, 산화탄탈륨박막 중 적어도 하나;

유기 유전체 박막은 파릴렌C(Parylene C)  박막, 폴리이미드(Polyimide) 박막, 포토레지스트(Photoresist) 박막 중 적어도 하나이다.

그 중 파릴렌C  박막은 진공증착법으로 제조되며, 구체적으로 다음과 같은 단계를 포함한다.

(1) 고체 디클로로-p-자일렌 이량체 원료를 증발실에 넣고 100-160℃에서 승화시켜 디클로로-p-자일렌 이량체 가스를 생성하는 단계;

(2) 디클로로-p-자일렌 이량체 가스를 분해 챔버에 주입하고 600-720℃에서 활성 2-클로로-자일렌 단량체 분자를 생성합니다.

(3) 2-클로로-p-자일렌의 단량체 분자를 실온의 진공 증착 챔버에 주입하고 기판 표면에 Perrin C 필름을 중합하여 증착합니다.

배리어 특성이 다른 2개 이상의 유기 유전막과 무기 유전막을 결합함으로써 복합 시스템을 이용하여 이온 투과의 확산 경로를 확장함으로써 제조된 유전층의 배리어 성능을 높일 수 있다. 이는 이온 투과로 인한 침식 문제를 방지하고 전기습윤 렌즈의 수명을 향상시킵니다.

 

 

참고자료

CN117389027A 전기습윤을 위한 유전층 및 전기습윤 렌즈.