제품 소개 파릴렌 C는 주로 마이크로 전자공학 및 반도체의 고순도 부동태화 층 및 유전체 층으로 사용됩니다. 또한 마이크로 전자공학의 패시베이션, 보호, 윤활 및 기타 코팅으로도 사용할 수 있습니다. 또한, 생물의학적 부식방지 및 문화재 보호 등의 절연, 고화, 보강재로도 활용이 가능합니다. 파릴렌 C OECT의 응용 유기 반도체를 기반으로 하는 3단자 장치로 도파민, 아드레날린, 아스코르브산, 아데노신 삼인산, 세포 활동 감지 등 라벨 없는 바이오센싱에 널리 사용됩니다. 유기 전기화학 트랜지스터는 우수한 이온 및 전자 전도 특성을 갖는 유기 반도체를 사용하므로 전해질을 유전체층으로 사용할 때 큰 정전용량을 형성하여 감지 신호를 효과적으로 증폭시킬 수 있습니다. 초저 구동 전압, 우수한 기계적 유연성 및 생체 적합성을 통해 생체 전기 및 생화학 신호를 포함한 생물학적 신호를 감지하는 데 큰 연구 중요성을 부여합니다. 기존 기술은 공정이 복잡하고 센서 감도를 더욱 향상시켜야 하는 문제가 있습니다. 따라서 CN116953041A 특허는 매우 민감하고 빠르게 반응하는 pH 센서와 그 작동 방법을 제공합니다. 구체적인 준비방법은 다음과 같다. (1) 기판을 준비하고, 기판 위에 절연층을 증착한 후, 절연층 위에 접착층을 증착하여 절연층 표면에 소스, 드레인, 게이트를 더 접착시킨다. 소스, 드레인, 게이트의 증착이 완료되면 미세전극 칩을 준비하고, 초기소자로서 미세전극 칩의 표면에 보호층을 추가 코팅하는 단계; 미세전극 칩에는 강성 미세전극 칩 또는 유연성 미세전극 칩이 포함되며, 미세전극 칩 내부에 채널 관통 구멍이 형성되어 있으며; (2) 3,4-에틸렌디옥시티오펜과 이온성 액체를 전해질로 사용하여 초기소자에 교류전류를 인가하고 교류전착법을 이용하여 미세전극칩의 채널비아에 전기중합을 통해 유기반도체층을 형성하는 단계; (3) 백금을 상대전극으로, 표준 칼로멜 전극을 기준전극으로 사용하고, 단계 (2)에서 얻은 소자의 게이트를 작동전극으로 사용한다. 게이트는 단계 (2)에서 얻은 장치의 PEDOT:BTB 필름으로 수정됩니다. 수정 후에는 매우 민감하고 빠르게 반응하는 pH 센서가 얻어집니다. 보호층 재료는 파릴렌 C, 폴리이미드, 벤조사이클로부텐, 이산화규소 또는 질화규소입니다. 본 발명의 방법은 간단하고 효율적이며 구현이 용이하다. 유기반도체층은 교류전착법으로 제조하고, 게이트는 순환전압전류법으로 변형한다. 준비된 pH 센서는 특정 작업 방법에서 높은 감도와 짧은 응답 시간을 가지며 웨어러블 전자 장치에 광범위한 응용 가능성을 가지고 있습니다.
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